CVD化學氣相沉積裝置由高級室(shi)、想法室(shi)、氣路設備、和真(zhen)空泵箱設備構成(cheng)，進行智力化軟件(jian)控(kong)溫(wen)設備，穩定硅管控(kong)，控(kong)溫(wen)精密度(du)較高；內置式多家(jia)溫(wen)區(qu)，能能積極營造(zao)各種不(bu)同的(de)溫(wen)度(du)等(deng)度(du)。適用(yong)學校(xiao)、科(ke)技創新院(yuan)所、工礦(kuang)區(qu)企業(ye)主做溫(wen)度(du)氣質煅燒、氣質恢(hui)復原、CVD科(ke)學試驗、真(zhen)空泵箱固溶處理等(deng)。

1、進化室(shi)主(zhu)要的(de)(de)涉及有鋁(lv)錳(meng)鋼(gang)裝飾管(guan)溶(rong)器(qi)，鋁(lv)錳(meng)鋼(gang)裝飾管(guan)在常溫閥、氣壓表、電熱器(qi)錳(meng)鋼(gang)絲發熱怎(zen)么辦體(ti)(ti)、質子(zi)(zi)2g蒸汽(qi)的(de)(de)流量計、pt100、溫濕度控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)裝置(zhi)和(he)(he)外保溫體(ti)(ti)統。主(zhu)要的(de)(de)用作對前置(zhi)前驅體(ti)(ti)的(de)(de)熱處理進化和(he)(he)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)通入現象室(shi)的(de)(de)實驗室(shi)氣體(ti)(ti)2g的(de)(de)流量, 控(kong)(kong)(kong)溫溫濕度不錯在100-700℃間自由自在控(kong)(kong)(kong)制(zhi)，由K度數(shu)號pt100+五金(jin)機械數(shu)顯(xian)式執行子(zi)(zi)程序控(kong)(kong)(kong)溫儀(yi)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)進化在常溫濕度的(de)(de)半自動(dong)執行子(zi)(zi)程序上下，控(kong)(kong)(kong)溫誤差：±1℃，進化室(shi)安裝總數(shu)量為多個。

2、表(biao)(biao)現(xian)室(shi)重要涉及不銹鋼圓管場所(suo)、氣壓表(biao)(biao)、質子2g電(dian)磁流量(liang)計、電(dian)暖鎳鋼絲發(fa)燒體、pt100溫差(cha)計、恒溫操作(zuo)系統、真空箱操作(zuo)系統、墻體保溫操作(zuo)系統、載物臺。控(kong)溫溫差(cha)能(neng)否(fou)在100-900℃中隨心所(suo)欲(yu)設置，由K測量(liang)范圍號(hao)pt100溫差(cha)計+五金機(ji)械(xie)數顯儀表(biao)(biao)執行環節(jie)控(kong)溫儀保持表(biao)(biao)現(xian)高溫差(cha)的全(quan)自(zi)動執行環節(jie)上(shang)下(xia)，控(kong)溫計算(suan)精度：±1℃，表(biao)(biao)現(xian)室(shi)設置次(ci)數為6個。

3、氣(qi)路的(de)調控(kong)(kong)整(zheng)體通過(guo)∮6×1mm，316L質量不(bu)銹焊(han)接鋼管(guan)完成實驗(yan)(yan)室(shi)甲烷(wan)(wan)廢(fei)氣(qi)的(de)及配(pei)(pei)送(song)、實驗(yan)(yan)室(shi)甲烷(wan)(wan)廢(fei)氣(qi)熱(re)度(du)(du)的(de)正確的(de)調控(kong)(kong)、宣泄(xie)閥的(de)正確快修改和(he)排(pai)放物的(de)參與(yu)治療。在(zai)實驗(yan)(yan)室(shi)甲烷(wan)(wan)廢(fei)氣(qi)及配(pei)(pei)送(song)時中，應該(gai)對管(guan)線鋪設參與(yu)升溫外保溫參與(yu)治療，嚴(yan)防(fang)混合型(xing)喂養實驗(yan)(yan)室(shi)甲烷(wan)(wan)廢(fei)氣(qi)在(zai)及配(pei)(pei)送(song)時中造(zao)成冷(leng)凝器，升溫的(de)調控(kong)(kong)整(zheng)體由K量程號熱(re)電阻+智力(li)數(shu)顯儀表控(kong)(kong)溫儀+電加熱(re)碳素(su)鋼絲起熱(re)體完成氣(qi)路管(guan)線鋪設的(de)體溫的(de)調控(kong)(kong)，控(kong)(kong)溫導致(zhi)精(jing)度(du)(du)：±1℃。

4、真(zhen)空系統泵裝(zhuang)置注意用來調節不良(liang)不良(liang)反應(ying)辦公(gong)室(shi)壓(ya)強，擔保化學不良(liang)反應(ying)氣相色譜儀沉淀積累不良(liang)不良(liang)反應(ying)能在預設的壓(ya)強下進行實驗(yan)操作，真(zhen)空系統泵度(du)：10Pa。

CVD化學上色譜堆積

耐腐蝕氣相色譜儀沉淀積累生理反應部件

CVD管式爐